無油螺杆真空泵也被稱為螺杆真空泵或幹式真空泵,是一種具有廣闊應用前景和巨大市場潛力的真空設備。
這種泵的工作原理是,通過兩根螺旋轉子在泵殼中作同步高速反向旋轉,利用高速擠壓氣體來產生吸氣和排氣作用。
無油螺杆真空泵的優點包括:
無需潤滑油,因此不會產生油汙染,特別適用於對清潔真空要求較高的領域,如微電子、半導體、製藥和精密機械等。
轉子之間有一定的間隙,因此在運轉時相互無摩擦,具有低噪音、低能耗、壽命長等特點。
極限真空度高,可以達到10pa,適用於化工精餾、光伏覆膜機等高真空工況。
螺杆轉子的加工製造精度要求高,因此其成本也相對較高,但這也保證了其工作性能和使用壽命。